二手 PLASMATECH RIE-80 #9249321 待售

PLASMATECH RIE-80是一种先进的蚀刻器/asher,用于从基板表面化学和物理去除薄层材料。这种功能强大的工具能够以最高的精度和精确度去除材料，从而能够非常精确地控制蚀刻过程。RIE-80是设计用于实验室环境的遥控蚀刻器/asher。它有一个大的开放式框架结构，有一个气体入口，腔室，和出口。其全尺寸腔室设计为提供最大蚀刻吞吐量。该室包含两个样品持有者和一个样品表，一次最多可处理八个样品。PLASMATECH RIE-80配备了先进的过程控制，提供全自动的过程监控。这样可以精确控制蚀刻参数,从气流到温度、压力和定时。这使得RIE-80非常适合在控制蚀刻过程中需要极高精度的应用程序。PLASMATECH RIE-80具有三轴CNC控制的万向节系统,允许快速、精确的倾斜运动,用于扫描、蚀刻和晶圆旋转。该系统专为高通量蚀刻操作而设计，提供对晶圆旋转和倾斜的精确控制。RIE-80还配备了先进的高分辨率光学显微镜，用于验证蚀刻结果的质量。PLASMATECH RIE-80是一种功能强大且精确的蚀刻器/asher,旨在对蚀刻过程进行高效而精确的控制。它能够同时处理多达八个样品，并配有先进的工艺控制和CNC控制的万向节系统，用于快速和精确的晶圆倾斜运动。RIE-80能够以极高的精度和精确度产生高精确度的蚀刻结果，是实验室应用的绝佳选择。