二手 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9123991 待售

PLASMATHERM 700 VLR（Versalock）是一款高性能的等离子体蚀刻器，专为各种半导体应用和材料而设计，包括金属和电介质。它能够蚀刻高达350 μ米的区域以满足苛刻的设备生产要求。Versalock设备采用真空和气体压力机制，可以精确调整到该过程所需的精确参数。PLASMATHERM 700 VLR具有专有的PCX工艺室和优化的气流控制系统.与传统等离子体蚀刻系统相比,该单元具有更好的蚀刻均匀性.Versalock还具有自动实时控制蚀刻温度、线路断裂补偿、电压输出匹配以及获得专利的即插即用喷气机等功能。此工具无需外部流量控制器,可立即锁定流量。PLASMATHERM 700 VLR还具有利用气冷非热成像板特性的自动加热和冷却资产。这使得模型能够精确控制单级和多级芯片设计的蚀刻速率。Versalock特别适用于无边圆或侧壁锥度的高纵横比结构的小特征蚀刻。该设备还能够生产200 nm至500 nm、低粗糙度和垂直侧壁的通道。它既可用于单sobek，也可用于级联蚀刻概念。Versalock还有一个内置的电荷中和系统，在蚀刻过程中消除了室内的杂质积累。PLASMATHERM 700 VLR具有过电压保护、过电流保护、腔室压力控制、3D互锁等多种安全特性。其密封盖装置通过防止机器运行时发生危险反应，进一步提高了安全性。Versalock还具有易于使用的图形用户界面,使操作员能够轻松调整蚀刻过程的参数。总之，PLASMATHERM 700 VLR（Versalock）是一种针对多种应用和材料而设计的高级蚀刻工具。它具有易于使用的图形用户界面、获得专利的即插即用气体注入资产以及自动加热和冷却模型。Versalock具有广泛的安全特性和精确的蚀刻功能,是各种要求苛刻的半导体应用的理想解决方桉。