二手 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223 待售
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ID: 9293223
优质的: 1997
PECVD system
LM/TM module
(2) RIE Modules
(5) MKS Mass Flow Controllers
RFPP-RF5S RF Power supply
LEYBOLD Dryvac 50P
208V, 60Hz, 3 Phase
1997 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR(Versalock)是一款健壮可靠的蚀刻器/asher,设计用于半导体行业的先进高精度加工。它配备了多温控系统等最新技术,以保证可重复、可追溯的过程产生优异的效果。蚀刻器/asher使用五个独立的温度区域,每个区域都有自己独立的数字控制器。这确保了微观结构水平上的精确温度控制和精确的热性能。PLASMATHERM 700 VLR还具有强大的磁活化锁定机制。这样可以确保装载系统和加工室保持牢固锁定,从而实现安全和稳定的操作。Versalock功能还提供了可靠且可重复的过程,而无需手动重置或调整。PLASMATHERM 700 VLR采用两级机械泵,提供低耗散和低湍流处理。超低消耗条件降低了蚀刻和材料成本,从而提高了成本效率。在安全性方面,PLASMATHERM 700 VLR已经同时配备了机械互锁和工艺密封功能。后者允许操作员在闭门后安全工作,从而为其人员提供安全的环境。PLASMATHERM 700 VLR还具有用户友好的图形界面系统,允许操作员监视和控制蚀刻进度。使用各种预设配方,用户无需人工干预即可执行多个蚀刻过程。总体而言,其先进的技术、坚固的设计和用户友好的界面使PLASMATHERM 700 VLR成为半导体蚀刻和灰化的绝佳选择。此蚀刻器/消耗器提供了更好的生产效率、可靠性和最低的耗材成本。
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