二手 PLASMATHERM 7200 #9124185 待售
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ID: 9124185
优质的: 1991
Large batch chamber
RIE Electropolish the stainless steel
lower electrode powered: 30-32"
Shower head height
(5) Brooks 5850e MFCs
BCl3 process for backside via etching of GaAs wafer
RF20F power supply with matching network
Leybold 360 turbo with controller
Edwards EM40 with 250 blower
Upgraded to PC controller
1991 vintage.
PLASMATHERM 7200是一款最先进的蚀刻/asher设备,旨在为用户提供高吞吐量处理的精度和速度。该系统适用于PCB材料蚀刻、光掩模蚀刻、MEMS制造等各类蚀刻操作。7200利用高电流、高频电源提供准确和可重复的结果。它具有串联等离子体火炬，提供了改进的过程控制和可靠性。火炬配有一套专门设计的喷嘴，以达到最佳性能和工艺纬度。该单元还具有可伸缩的腔室,可方便地进入零件并最大程度地减少污染。该机器能够高速执行各种蚀刻技术。其晶片盒和倾斜托架配置可实现非接触蚀刻和精确的抗蚀性图样。此外，它的过程控制软件即使在处理易受伤害的基板时也能确保可重复性和准确性。该工具还具有高度可定制性,提供了一系列可选的部件和附件,如口罩支架、切丁刀片、特殊支架和附加喷嘴。它也与多种气体兼容，如SF6、O2、SF4和H2。PLASMATHERM 7200是一种强大可靠的资产,功能广泛。其先进的功能和控制软件使用户能够快速、精确地进行快速的蚀刻操作。该模型基于模块的体系结构允许将来进行升级,以确保设备随着最新的技术进步而保持最新状态。
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