二手 PLASMATHERM 7300PE #9042738 待售
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ID: 9042738
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
PECVD System, 8"
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PE是为工业和研究市场设计的先进蚀刻/灰化系统。该设备具有可编程温度范围（450-600°C）和独立的红外和微波加热功能,能够精确控制样品处理参数。另外，歧管加热器部分和射频发生器独立驱动，以获得最佳源功率和工作压力水平平衡。该系统适合于蚀刻/灰化一系列材料，包括硅、砷化氙和类似金刚石的碳（DLC）涂层。它利用UPEC（通用并行蚀刻控制）技术实现了最佳蚀刻速率和可重复性。该技术跟踪过程中的蚀刻速率，并相应地控制化学流动，以获得一致的结果。7300PE配备了各种安全功能，包括自动歧管关闭阀、电动源抛出开关和氧气监测器。数字控件是用户友好的，允许远程操作和无人值守蚀刻。此外,数据收集程序允许用户监视化学流速、温度、压力和其他工艺参数。PLASMATHERM 7300PE结合了高转移蚀刻速率和可靠的过程控制，使其成为工业和研究应用的理想解决方桉。该单元设计为易于安装、操作和维护。此外，其耐腐蚀结构使其坚固耐用，适合恶劣环境。其先进的特性和卓越的性能使其成为精确、高度可靠的蚀刻/灰化的理想选择。
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