二手 PLASMATHERM 740 #194698 待售

PLASMATHERM 740是一款最先进的蚀刻器/asher，设计用于高通量和经济高效的晶圆处理。设备配备高效的低压等离子体源，以及专有的三轴离子器、双脉冲晶片操控，以及一系列工艺特点，可实现优越的蚀刻均匀性、高光束密度、高长宽比，并在较大的无缺陷表面积上精确对准。740有一个可定制的工艺工具集，用于针对不同的应用（如干蚀刻、灰泥、涂层、打印和剥离）量身定制加工。PLASMATHERM 740将行业领先的工艺精度与低成本批量处理相结合,非常适合大批量生产环境。该系统采用专利的多级等离子体工艺优化和均匀性控制技术，具有较浅的沟槽隔离工艺和中深维度结构的高质量效果。740的高功率等离子体源能够产生不同能量、流量和脉冲持续时间的脉冲，以确保最佳蚀刻性能。此外，还可以采用双脉冲控制技术来减少工艺时间，消除晶圆表面的高能和低能区域。Pulse Delay Knowledge Unit确保对称和均匀的前馈脉冲延迟,以获得更高的精度。该机还配备了3轴机器人定位器，最大速度为624 bpm。定位器确保晶片在整个成像过程中精确对准和运动。它还提供了12个功率级控制步骤和可调节的晶片倾斜度,以优化覆盖范围。PLASMATHERM 740具有用户友好和直观的基于Windows的界面,并提供远程访问以增强支持。该工具具有硬件和软件平台,可提高工作效率和正常运行时间,是任何晶圆处理应用程序的完美解决方桉。