二手 PLASMATHERM 770 ICP/770 SLR ICP #9124950 待售
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ID: 9124950
Lower electrode ceramic (Alumina) insulator
SLR ICP etch system
P/N: 41120-89864-010.
PLASMATHERM 770 ICP/770 SLR ICP是一种先进的蚀刻和灰化设备,旨在为低热和高热应用提供精度和可靠性。该ICP系统利用等离子体技术为各种应用中的蚀刻和灰化提供高效、统一和经济高效的解决方桉。该装置具有坚固的真空室,同时具有低压和高压操作,使基板蚀刻和灰化率具有灵活性。770 ICP的处理时间短至10秒,提供均匀精确的蚀刻和灰化结果。770 ICP的最大负载速率为每分钟70毫米,允许高吞吐量。该机器与包括金属化基板、金属和塑料在内的各种基板兼容。其嵌入式供气工具允许单手操作,其多个工艺参数使得蚀刻和灰化工艺得以优化。蚀刻和灰化过程由高级触摸屏面板控制,该面板可精确控制所有参数。该资产的等离子体蚀刻和反应性离子蚀刻技术提供了高保真蚀刻图样和缩小蚀刻图样区域的能力。该模型还提供氧化控制,允许对基板进行精确的表面处理。770 ICP在蚀刻和灰化过程中利用强大的冷却来保护腔室,而一个精密的灰尘过滤器可以防止底物灰尘污染。设备的安全特性包括内置点火销、电源开关和紧急关机开关。该系统与最先进的蚀刻和ashing软件兼容,具有最高水平的控制和准确性。770 ICP是各种需要精密蚀刻和灰化的应用的绝佳选择。该单元为需要精确结果的研究人员和行业提供了可靠且经济高效的解决方桉。机器的效率和性能使它成为一个非常有价值的蚀刻器和灰烬.
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