二手 PLASMATHERM 770 ICP #9156681 待售

PLASMATHERM 770 ICP是来自PLASMATHERM的先进蚀刻和灰化设备。它提供卓越的蚀刻和灰化性能,并包括一系列旨在确保统一精度和可靠性的功能。该系统具有先进的电源，可提供高电离密度、均匀的蚀刻轮廓和更高的工艺稳定性。快速开关电源具有各种电容和脉冲长度的灵活性。这样可以优化给定过程的蚀刻速率。它还允许调整每个蚀刻过程的输出功率,以实现整个批次的最佳工艺配置文件和可重复性。770 ICP还包括一个独特的集成两区陶瓷衬里腔室，允许在一个单元中进行蚀刻和灰化。工艺气体室使用氮气、氧气和其他反应性气体操作，能够对各种材料进行蚀刻和灰化。集成开放式负载锁可确保晶片的轻松加载和卸载,而不会带来额外的污染。可以很容易地从腔室的两侧进入载荷锁以装载样品。该单元包括先进的控制，允许精确的过程监测和自动热控制。一个高度敏感的热电温度探头测量等离子体加工过程中的晶圆温度。过程的均匀性由红外高温计进一步监测。该软件还包括配方驱动的用户界面，便于选择流程参数。直观的GUI为用户带来了自我解释的过程控制。它包括用户友好、图形和文本状态显示,以指导操作员完成设置和配方选择过程。它提供自动安全警告,并清楚地传达处理错误。PLASMATHERM 770 ICP是蚀刻和灰化的理想机器，提供卓越的可靠性和准确性。它具有集成的硬件和软件功能,可确保以最高质量和可重复性执行任何过程。