二手 PLASMATHERM 770 ICP #9156791 待售

ID: 9156791
晶圆大小: 1"-8"
优质的: 1997
Plasma etcher, 1"-8" Load lock shuttle lock transfer Single chamber ICP RFPP–RF5S RF Power supply w/AM5 Six zone heater VAT PM5 Pressure controller RF10M w/phase Model 919 Hot cathode controller (6) MFCs-gas 1997 vintage.
PLASMATHERM 770 ICP是一种蚀刻器/asher设备,能够快速、可靠、经济地生产先进的半导体产品。该系统通过结合低压等离子体处理、高精度气体入口系统和数字温度控制来实现精确和可重复的结果。它能够达到10 um的可寻址分辨率,具有广泛的工艺参数和功能,适合生产和研究应用。770 ICP 蚀刻器/asher单元可用于晶片和非晶片蚀刻应用,包括硅、有机膜、陶瓷、玻璃、真空沉积和MEMS。利用其低压等离子体工艺和高压/低功率等离子体电源,设计为实现所需的蚀刻工艺均匀性,并将材料损坏和污染降至最低。这使得它非常适合一系列的应用,如栅极蚀刻,通过蚀刻,鳍片蚀刻,和抵抗剥离,以及环境清洁和溅射。该机配备了一个高精度的气体入口工具,具有多达三条气体管线和一个集成的压力控制器。它还配备了数字温度控制器,允许精确和可重复的温度控制。这样可以确保达到并维持所需的蚀刻工艺条件。PLASMATHERM 770 ICP 蚀刻器/asher资产由于设计简单直观,易于使用和维护。它具有直观的图形用户界面,允许用户快速编程和控制蚀刻过程。该模型还具有防止意外损坏和污染的内置安全功能,以及便于远距离操作的远程控制设施。770 ICP 蚀刻器/asher设备代表了蚀刻技术的极致,实现了先进半导体产品的快速、可靠和经济的生产。它是寻求高级蚀刻解决方桉的制造商和研究中心的理想选择。
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