二手 PLASMATHERM 770 #9124177 待售
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ID: 9124177
晶圆大小: 2-8"
优质的: 1995
Reactive Ion etcher (RIE), 2"-8"
Parallel plate type, 11"
Upper electrode and lower electrode, 9"
Multi-wafer size design up to 8" wafers
Graphite feature plate
Adjustable upper electrode height
SEIKO / SEIKI STP-H300C Turbo pump
SEIKO / SEIKI STP Controller
(9) MFC's
ADVANCED ENERGY RFPP 5S
With AM5 matching network
290 Ion gauge controller
MKS 286 Controller
Disconnect box
Plasmathem PC
Power supply: 208 V, 60 A, 60 Hz, 3-Phase
1995 vintage.
PLASMATHERM 770是世界各地高科技行业用于各种材料精密蚀刻和灰化的蚀刻/灰化器。该机利用微波能量和高频等离子体相结合,有效、准确地蚀刻和粉碎任何材料。770典型加工厚度从1"到9"不等的基板。采用特殊的专利腔室设计,优化工艺,获得最佳蚀刻和灰化效果。该工艺用途广泛,因为它可以处理任何厚度、大小、形状和材料的涂层和非涂层基板。模型还包含两个独立的盖子,以确保没有外部污染物进入机器的内室。一旦基板被装入机器,加工室就被密封并抽出以产生真空。这样做是为了清除室内的任何潜在污染物或氧气浓度。然后用射频发生器激发稀有气体溷合物,产生微波场产生等离子体。PLASMATHERM 770的腔室压力可根据用户要求和所需的蚀刻速率进行调节。它还具有智能温度控制系统,可确保无论基材类型或蚀刻工艺的变化如何,都能保持最佳工艺温度。为了增加安全性,该装置还配备了内置的灭火系统,并具有自动冷却参数。蚀刻器的等离子体密度也可调节,进一步提升其蚀刻速率和循环时间。770除了具有蚀刻和灰化功能外,还提供了多种其他功能。它具有直观的用户界面和触摸屏显示,以协助操作员和用户在室内装卸基板。具有2048MB容量的EEPROM内存芯片允许用户为以后的蚀刻过程存储以前的程序设置。PLASMATHERM 770设计为简单但高效的蚀刻器/asher。它是高技术行业对各种材料进行快速、精确蚀刻和粉刷的理想选择。凭借其直观的设计和易于使用的特点,770是那些寻找优越蚀刻效果的人的理想选择。
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