二手 PLASMATHERM 790 Series MF #9382210 待售

PLASMATHERM 790系列MF是来自AIXTRON的精确且用途广泛的蚀刻器/asher。这种蚀刻器设计用来蚀刻和粉刷芯片、基材、晶圆和其他薄层材料。它具有集成的精密控制设备,可获得准确的结果.790系MF极为精确，内层结构只有11微米厚。这样可以确保即使在极薄的基板上也能进行精确的蚀刻和灰化。该蚀刻器的可重复性和特征尺寸精度是无与伦比的，其分辨率可达0.01 μ m至0.05 μ m。PLASMATHERM 790系列MF是围绕等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺设计的。这是一个高度可靠和灵活的过程，允许用户控制蚀刻层的蚀刻速率、选择性和均匀性。该蚀刻器设计用于精确蚀刻和灰化电荷耦合器件（CCD）、互补金属氧化物半导体（CMOS）晶体管、电容器、电感、集成电路板以及许多更薄的材料层。790系列MF设计成本低,维护要求最低。蚀刻器的运行寿命延长,两个作业之间的停机时间为零。这确保了最大的生产力和效率。该蚀刻器还易于安装和使用，内置了低振动真空泵，用于高效的过程装卸。此蚀刻器可轻松集成到任何生产线和系统中。PLASMATHERM 790系列MF具有先进的惰性气体输送装置，以确保高质量、高生产力的过程。该蚀刻器具有完整的工艺灵活性和可靠性，最多可有4个独立的工艺气源和最多3个独立控制的气体压力。790系列MF采用基于三通和四通电磁阀的送气机，能够提供最高端的蚀刻和灰化效果。此外，该蚀刻器还提供了先进的射频电源，用于精确控制电源管理和过程均匀性。此外,高级运行时数据监视工具允许蚀刻器监视资产性能并深入了解过程动态。这有助于优化蚀刻和灰化结果,以获得一致的高质量结果。