二手 PLASMATHERM 790 Series #293750741 待售

PLASMATHERM 790系列是Advanced Energy製造的先进、紧凑且具成本效益的台式蚀刻器/asher。790系列的显着优势包括在沉积、蚀刻和灰化应用方面的高质量和灵活性。它基于平面磁控管溅射，一个离子束源或两者的组合，取决于应用。PLASMATHERM 790系列设计的占地面积很小,非常适合台式应用,可扩展,并具有用于沉积和灰化的附加配置。其先进的稳定设备确保了工艺结果的最小变化和最大精度。平面溅射阴极可以针对特定的材料要求进行定制，提供更大的步长覆盖、均匀性和层厚。高级接口选项可实现高效和自动化的操作,并与许多标准的实验室和生产环境集成在一起。凭借广泛的可选气源选择，它能够处理广泛的材料，如光刻胶、介电材料、氧化硅和有机材料。该工艺室具有水平加载功能,便于安装基板,并具有广泛的可选端效应器。此功能允许精确蚀刻各种尺寸和形状各异的材料。还提供了远程访问数据记录系统,用于远程监视和控制操作,以改进流程和产量,并改进故障排除和维护。790系列的先进光学器件可实现卓越的表面均匀性,加上板载无污染泵送装置,确保过程的稳定性和控制。最先进的机器是为最大的可靠性而设计的，并为许多类型的应用提供了收益。利用其先进的射频电源,无需直流偏移,可随时提供稳定的电气质量。高稳定性PI互锁反馈回路保证了气体的精确稀释，不存在安全问题。总体而言,PLASMATHERM 790系列是现有的最先进的蚀刻器/分类器之一,提供卓越的性能,并将风险和成本降至最低。