二手 PLASMATHERM 790 Series #293763506 待售
网址复制成功!
单击可缩放
PLASMATHERM 790系列是一款先进的蚀刻和灰化设备,旨在满足最苛刻的生产和研究应用要求。它将快速氦气喷射活化反应气体与高频射频能量孔相结合,提供精确的蚀刻工艺。它拥有低维护平台和优越的燃气蚀刻室,使其成为电子行业各种高精度应用的首选。790系列是支持反应性离子蚀刻(RIE)和深度反应性离子蚀刻(DRIE)应用的多应用系统。它包括一个手动提升和下降单元,提供方便方便的样品加载,和一个可调的电场作用在蚀刻室的蚀刻均匀性的优越控制。PLASMATHERM 790系列控制器基于GSD软件,可确保对工艺参数的精确控制。它有一个大的图形显示,使它易于操作的机器。直观的用户界面允许用户根据应用程序的需要轻松调整参数。该工具设计用于恒星温度控制和改进大气,以实现高蚀刻质量和分辨率。它使用快速气体替代资产,用新鲜的、富含氦气的气体清除蚀刻室。790还提供了多种可配置的高功率射频电源,可提供高达10千瓦的功率。先进的数字控制模型提供了对压力、流量、样品温度等蚀刻参数的精确控制,确保了蚀刻精度的最高水平。控制器还确保了对蚀刻室电场的精确控制,允许用户根据其应用程序调整电场。790系列提供了满足电子行业最苛刻的蚀刻和灰化应用程序所需的所有功能。其坚固的结构、先进的控制设备以及优越的燃气蚀刻室,使其成为各种高精度应用的可靠高效选择。
还没有评论