二手 PLASMATHERM 790 Series #9382207 待售
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PLASMATHERM 790系列Etcher/Asher系统是一个高性能、多功能的单元，旨在为各种蚀刻和灰化应用提供精密和先进的技术。790系列采用先进、多区域、高真空、静电卡盘等离子体源,实现了精确的气体控制和均匀的温度分布。这创造了一个无菌和低压的环境，使得它特别适合诸如反应性离子蚀刻、灰化和沉积等应用。平台的有源气体输送设备由高精度数字真空泵、质量流量控制器、集成排气系统、计算机控制软件接口组成。这种精密硬件和软件的结合，使用户能够准确、精确地调节气流、压力和离子能量参数，进一步有助于确保对蚀刻和灰化过程如此关键的可重复处理条件。该单元的高级设计促进了一系列可编程的自动化方法。它允许用户以最小的努力定制每一个操作，并且已经设计了高效和精确的手动操作。预先建立的操作配置文件也可用于受控和可重复的处理。PLASMATHERM 790系列兼容一系列硅光掩模和非导电基板，包括石英、二氧化硅、氧化铝和聚酰胺。机器的自动化卸载功能使晶片和其他基板的放置和运输变得容易,并且它的安全互锁可以防止意外的电弧或高温暴露。通用的790系列有多种型号配置,可以根据操作员的处理需求进行定制。它是需要严格控制温度、气流和压力的蚀刻和灰化应用的理想工具。其简单、一致的操作使用户能够产生各种精密的蚀刻和灰烬，相对于传统方法而言效果优越。
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