二手 PLASMATHERM 790 Series #9382215 待售

PLASMATHERM 790系列是一种精密的蚀刻器和asher设备，设计用于广泛的纳米技术应用。其独特的过程控制、资源经济性和电力效率相结合，使其成为高精度蚀刻和灰化操作的理想装置。790系列具有等离子体源，可产生高度可控、高纯度的等离子体，用于蚀刻和粉刷基板。PLASMATHERM 790系列包含了一系列精确的过程控制参数，以允许对等离子体参数的精确控制，包括功率、脉冲速率、脉冲宽度、蚀刻时间、蚀刻深度、灰度时间、灰度深度、反应物流量和注入速率。这种控制结合了系统的10-2 mBarr的超低真空水平，以及短短3分钟的极短清洁序列，使其成为高吞吐量应用的理想选择。790系列设计效率高,资源节约。它采用低压电源,具有先进的节能功能。先进的PLC控制单元提供了优化的过程控制和对过程参数的精确控制。PLC界面用户友好,图形操作可实现快速的流程设置。安全是重中之重。PLASMATHERM 790系列提供先进的火灾和烟雾探测机和远程紧急关闭。该工具配有铰链盖,配有接触开关,以确保操作员的安全。红外温度感应也用于过程监测和控制。790系列具有广泛的过程和控制选项,使其成为满足各种用户需求的理想设备。它内置的诊断资产和广泛的I/O功能允许轻松集成到现有的实验室规模、制造和生产线中。这种用户友好型与多种基板兼容。