二手 PLASMATHERM A360 #138938 待售

PLASMATHERM A360
ID: 138938
晶圆大小: 5"
Etchers, 5".
PLASMATHERM A360是一种蚀刻器/asher,具有高级功能和功能,可创建高性能结果。它具有4种独立控制的气体压力设置,使其极为精确,并允许用户精确控制其基板的蚀刻过程。该室采用先进的工程材料建造,以确保最高质量的结果和患者的安全。腔室内部抛光光滑,完美无瑕,确保蚀刻操作均匀且可重复。A360还配备了创新的温度测量技术,使用户能够测量整个蚀刻表面各点的温度,从而实现最精确的蚀刻。PLASMATHERM A360还拥有一系列安全功能,包括真空互锁、超压安全功能、将污染物和废气直接排入外部环境的排气扩散器,以及可让用户监控系统性能的数字监管器。获得专利的全自动过程控制(FAPC)系统允许用户轻松设置和保存多达30种不同的过程配方,确保过程保持一致和可靠,无论谁在使用机器。A360是一个多功能设备,提供三种不同的蚀刻基板和多达8个蚀刻特征。每个工艺都与在工业规模上取得的统一蚀刻结果一致。PLASMATM PLASMATHERM A360可以量身定制,以满足每个客户的特定需求,包括各种选项,如蚀刻气体溷合物、蚀刻气体流量控制、板蚀刻功率、基板小平面控制等。总体而言,A360是一项先进的技术,提供多达8个蚀刻工艺和4个气压设置,允许用户为每种基材类型定制蚀刻工艺。通过其安全特性和集成的温度监测系统,确保了用户的安全和过程的可靠性。
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