二手 PLASMATHERM AMNS-3000E #293604270 待售

PLASMATHERM AMNS-3000E是一种高效可靠的最先进的蚀刻/灰化设备。它设计用于铜、聚酰亚胺、硅、玻璃和金属等各种基板的精密蚀刻/灰化。该系统可配置为用于平板显示器、磁性记录介质和半导体器件制造等应用的手动或自动操作。蚀刻/灰化单元由三大组件组成，分别是输入压板、输出压板和蚀刻/灰化室。输入板的设计可容纳20 x 20英寸以下的基板。它利用一个垂直移动的平台来支撑基板，以及一个两级真空机，以确保适当的附着在压板上。输出板的设计可容纳多达8个基板。它采用变频驱动电机驱动的整体传送带工具.蚀刻/灰化室是资产的心脏，具有两阶段的等离子体注入模型。这既提供了用于蚀刻/灰化的Ar/O2等离子体，也提供了用于独立控制每个工艺的谐波驱动设备。该系统还配备了用于流程优化的微型计算机和用于任务管理的可编程接口。该装置还具有加压室、联锁机保护人员、可调气流控制等多种安全特点，以优化工艺产量。除了蚀刻/灰化工具外,AMNS-3000E还包括功能强大的控制软件包。该软件包旨在为用户提供高级流程控制和自动配方管理,使用户能够轻松存储和访问关键流程配方。软件还允许用户监视所有硬件参数，以及调整、诊断或微调流程操作。PLASMATHERM AMNS-3000E是一系列蚀刻/灰化操作的理想资产。其先进的特点和卓越的工艺可靠性使它成为一个特殊的价值。由于其人性化的设计，该模型也易于使用，能够一次又一次地提供一致的结果。