二手 PLASMATHERM AMNS-3000E #293618168 待售
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PLASMATHERM AMNS-3000E是用于制造电子、光电和微电子器件的先进蚀刻器/灰化器。该设备设计用于硅、玻璃和有机材料以及硅基合金的低温和高温反应性离子蚀刻和蚀刻。其广泛的功能、低功耗以及作为可靠且经济高效的系统而享有盛誉,使其成为各种行业应用的理想选择。该单元包含多个控制选项,使用户能够自定义其操作并获得所需的结果。其中一个特性是内置的可编程控制器，它允许用户监控和调整几个参数，包括气压、电压、频率、脉冲持续时间、脉冲类型和波形形状。此外，该机器能够监测和控制室内的温度、湿度和压力，从而实现精确和可重复的过程结果。该工具利用获得专利的等离子体源，能够产生频率范围很广的强大微波波形，从而获得较高的蚀刻速率。波形还刺激各种类型的电离材料进行更高效的蚀刻。可以定制产生的波形以满足用户需求，从而实现快速可靠的工艺优化。AMNS-3000E还配备了创新的安全功能,例如机柜互锁资产和可编程的高压显示器,可防止过大的电压累积。该模型还具有压力密封机构，以防止室内压力变化，确保准确和可重复的结果。设备的核心是高精度真空沉积室，该室经过精心制作，能够提供精确的蚀刻和沉积结果。腔室包括动态温度控制、多个气体注入口、旋转和横向运动能力，以及各种气体注入速度控制，允许提高工艺精度。PLASMATHERM AMNS-3000E是一种多功能、高性能的蚀刻系统,物有所值。这款先进的蚀刻器/asher是计算机芯片制造、光电器件、MEMS、微流体器件等广泛行业应用的理想选择。
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