二手 PLASMATHERM Clusterlock 7000 #9178962 待售

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ID: 9178962
Vacuum transfer module (2) PT7000 RIE/PECVD Systems With (1) Cassette load / Unload module Substrates: 500 mm x 500 mm (6) Transfer ports: 630 mm wide x 120 mm high Motorized lid hoist underneath VTR-Robot with end-effector Chamber Cassette loader Genmark lift robot.
PLASMATHERM Clusterlock 7000是一种先进的蚀刻器/asher设备,具有多种功能,可在各种基板中产生精确的蚀刻或灰化功能。利用先进的半导体技术,Clusterlock 7000提供了优化的周期时间和差异化功能,以满足生产要求。当使用高度敏感和具有挑战性的材料时,蚀刻器/asher还提供卓越的性能。PLASMATHERM Clusterlock 7000的模块化设计允许在有限的空间中快速、方便地安装和维护操作。该系统的设计还有助于过程控制和监测系统的集成,以确保一致满足最佳蚀刻和灰化参数。该单元还允许针对敏感材料制定额外的特定于工艺的安全协议。Clusterlock 7000的独立机器提供了无与伦比的安全性、安全性和精确度。为方便和个性化流程设置,用户友好的触摸屏界面允许轻松操作和完全控制所需的流程参数。PLASMATHERM Clusterlock 7000利用先进的材料切割技术和先进的流动动力学,确保精密准确的蚀刻和灰化工艺。蚀刻器/asher的集成自动清洁工具进一步增强了其在各种基材中产生令人难以置信的精确特征的能力。Clusterlock 7000 蚀刻器/asher还拥有市场上能效最高的系统之一。该资产还包括除尘和过滤系统,以确保最佳空气质量。低能耗和排放水平的PLASMATHERM Clusterlock 7000符合最高环境标准。Clusterlock 7000是任何应用程序都非常通用的蚀刻器/asher。它的模块便于与任何现有流程或设计快速、轻松地集成。该模型在保持安全、稳定和低能耗的同时,为蚀刻和灰化工艺提供了卓越的精度、精度和控制。
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