二手 PLASMATHERM Dual 790 #293815789 待售
网址复制成功！
单击可缩放
PLASMATHERM Dual 790是一款针对半导体行业中精确高效的等离子体处理应用而设计的尖端蚀刻和asher设备。此高级工具集成了双模式功能,使蚀刻和灰化过程能够在单个平台中执行。该系统提供了无与伦比的灵活性和对等离子体参数的控制，使其成为各种设备制造过程的通用解决方桉。Dual 790的核心是它的高密度等离子体源，它产生各种材料蚀刻和灰化所必需的高能物质。该装置利用先进的射频（RF）等离子体技术，创造出高度均匀稳定的等离子体环境，确保整个基板表面的过程结果一致。射频等离子体源产生了广泛的反应性物种，允许对不同材料进行精密和精密的选择性蚀刻和灰化。PLASMATHERM Dual 790的一个关键特性是它的双模操作，使得蚀刻和灰化过程之间可以无缝切换，而无需机器重新配置。此功能不仅简化了流程流程,而且最大限度地提高了工具利用率和生产率。该工具提供了广泛的工艺气体和参数选择，允许用户量身定制等离子体条件，以满足每个加工步骤的具体要求。Dual 790配备了先进的气体输送资产，确保对气体流量和溷合物的精确控制。这一模型能够创建先进等离子体工艺所需的复杂气体化学物质，如深层反应性离子蚀刻（DRIE）和表面改性。此外，该工具还具有先进的腔室设计和抽气设备，用于快速气体疏散和高效的等离子体处理。该系统采用了最先进的温度控制装置，在加工过程中将基板温度保持在一个严格的范围内。此功能对于防止敏感材料的热损坏和确保蚀刻和灰化操作中的重复结果至关重要。该工具还提供全面的端点检测功能,允许实时监控流程进度和准确确定流程完成情况。PLASMATHERM Dual 790配有用户友好的界面和先进的软件控制，便于编程和执行复杂的等离子体过程。该机器提供了一系列诊断和监控工具,用于流程优化和故障排除,增强用户体验和工具性能。此外,该工具还具有较高的吞吐量和可靠性,适合研发和生产环境。综上所述,Dual 790是一款用途广泛且先进的蚀刻器/asher工具,可提供双模操作、精确的等离子体控制和高级工艺功能,适用于各种半导体处理应用。凭借其尖端技术和用户友好的设计，该工具非常适合半导体行业要求苛刻的制造工艺。
还没有评论