二手 PLASMATHERM Gen 4 Mask IV #9386140 待售

PLASMATHERM Gen 4 Mask IV是一种蚀刻器和asher，用于多种工业应用。它旨在与各种材料配合使用,为精密蚀刻和灰化工艺提供解决方桉。它具有内置的射频/直流发电机,可实现高功耗蚀刻,并具有宽广的工艺窗口和较低的气体消耗。这种蚀刻器和asher还具有一个可调的基板支架，使其适合用于平坦和凸起的基板。蚀刻器和asher采用最大13.5 x 13.5英寸的蒙版尺寸,以及可定制的底板支架,间隙可达0.4英寸。基板支架在蚀刻和灰化过程中提供了对基板的精确操作和定位。它具有气动密封器和开门机构，以确保适当的密封，以及一个集成RF电源的最佳RF RF蚀刻过程4-200W。Gen 4 Mask IV还配备了先进的PLASMATHERM视觉控制设备,用于用户友好的设置和操作。该系统显示实时蚀刻过程控制参数,允许精确的过程控制,如微波功率、扫描速率等。此外，它还具有内置的OCR辅助装置，用于基板的定位。这台机器通过数据驱动的方法分析多层板的图像，使基板上的目标自动定位成为可能。PLASMATHERM Gen 4 Mask IV附带一个可选的远程面板接口,以提供远程操作方便,以及一个配方管理工具,允许存储和检索蚀刻食谱,使用户能够回忆以前的食谱并自定义设置,以优化蚀刻和灰化过程。蚀刻器和asher的工作温度范围是0-35C的，使得它适用于广泛的过程。总体而言,Gen 4 Mask IV是一种功能强大的蚀刻和灰化解决方桉,适用于各种工业应用。其用户友好的操作和一套高级功能使其成为精密蚀刻和灰化工艺的理想解决方桉。