二手 PLASMATHERM Gen 4 #9230297 待售

PLASMATHERM Gen 4
ID: 9230297
Dry mask etcher.
PLASMATHERM Gen 4是由PLASMATHERM开发的行业领先的蚀刻/灰分设备,用于深度蚀刻和灰分应用。该系统有助于加工各种材料,包括金属、聚合物和复合半导体。第4代采用独特的基于陶瓷的蚀刻工艺,产生精确和详细的特征,具有良好的边缘清晰度。此外,该机还具有先进的温度控制功能,可实现精确的蚀刻和灰化速率.这使得结果的可重复性和可重复性与最小的操作员干预.PLASMATHERM Gen 4具有22英寸工业液晶触控面板接口和基于PC的控制单元。此界面允许与用户友好的操作机器实时进行通信和参数调整。该工具通过自动配方生成得到进一步增强,用户可以快速编程所需蚀刻或灰分配方的参数。第4代提供一致的均匀蚀刻和灰分速率,从而导致材料的高度均匀蚀刻/灰分。该机还采用了先进的无滴蚀刻技术,确保蚀刻/灰化过程中不会出现累积的蚀刻液滴。PLASMATHERM Gen 4具有坚固的结构,并配有不锈钢腔壁,设计用于抵抗腐蚀和磨损。此外,流体冷却设备即使在长时间的蚀刻和灰化过程中也有助于保持最佳腔室温度。该模型还利用了气体输送设备,该设备有助于减少气体使用,同时保持最佳蚀刻和灰分速率。它采用了一种易于取用和可更换的气体输送歧管,用于简单的日常维护。第4代提供了多种工艺工具和组件,这些工具和组件对于生产透明、导电的金属氧化物和复合半导体设备至关重要。该系统还具有高效的空间加热单元,允许快速和可控的热过程。机器的可选锁定蚀刻工具可以将极小的特征和图桉插入到基板中。
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