二手 PLASMATHERM Mask IV #9228114 待售

PLASMATHERM Mask IV是一款高度先进的蚀刻/灰化机，用于学术和专业应用。它以先进的技术和高质量的成果而受到赞誉。Mask IV配备了先进的等离子体发电机设备，有助于产生广泛的工艺参数，如蚀刻深度、幅度、持续时间等等。此外,它还利用低损耗板涂层技术来确保精确的薄膜厚度、均匀的长宽比和紧密的几何形状。利用完整的精密参数阵列,此蚀刻器/asher可以涵盖从最先进的研究到生产需求的所有应用。该机还配备了获得专利的目标对准系统（TAS），可确保基板、掩模和目标的精确放置。这对于在紧密几何形状中获得最佳蚀刻结果至关重要。VersaDrive定位单元为TAS的精确运动提供了必要的稳定性和准确性,而无偏转聚焦机（DFFS）有助于确保蚀刻区域不会偏离所需区域。这保证了每次都有高质量的蚀刻性能。PLASMATHERM Mask IV也有一系列的过程监测资源，以确保蚀刻结果的质量和统一性。它具有嵌入式智能和过程监视功能,可以将进程参数恢复到其定义的设置,以实现可重复蚀刻性能。而且，快速热负荷工具可以快速地将腔室从蚀刻模式过渡到灰分模式，以确保最高水平的工艺均匀性。这款蚀刻器/asher还配备了一系列安全功能。它有一个气体监控器资产，如果密室达到潜在危险的过程水平，就会触发警报。此外,Mask IV还具有预先设定的操作参数,以确保过程的准确可重复性并防止任何不安全的情况。最后，真空监测能力有助于确保在蚀刻过程中仅达到室内的安全真空水平。总体而言,PLASMATHERM Mask IV是一款非常先进且功能强大的蚀刻器/asher,可为用户提供出色的效果。它的先进技术非常适合所有应用，从基础研究到大批量生产。此外,其安全特性有助于确保蚀刻过程安全高效。