二手 PLASMATHERM PECVD Heater #9124951 待售

PLASMATHERM PECVD加热器是一种蚀刻器/灰化器，设计用于将各种材料的薄膜沉积到基板上。用于太阳能电池制造、薄膜晶体管加工等微电子工艺等应用。PECVD Heater是一种高密度、直接频率、射频加热、化学等离子蚀刻器，旨在提供经济高效、精确的过程控制。它采用多站并联沉积工艺，可准确沉积各种材料。PLASMATHERM PECVD加热器装有一个沉积头，当将材料沉积到基板上时，它具有很高的灵活性。沉积头能够处理各种尺寸和形状的基板，从平板到不规则形状。PECVD加热器还具有集成的反应性气体输送设备，可精确控制反应速率和反应介质。这允许在复杂化学中进行可靠的过程控制，如掺杂、选择性和3D结构。PLASMATHERM PECVD加热器还具有许多工艺参数，可以调整以优化沉积工艺。这些参数包括反应堆压力、等离子体电压、射频功率水平、源温度、源距离、源到基板距离、源功率。PECVD加热器的设计也考虑到安全性，具有可编程的电磁互锁系统，能够在任何不安全的情况下进行CAE操作。PLASMATHERM PECVD加热器是一种用途广泛、经济实惠的蚀刻/可编程沉积解决方桉,适用于各种薄膜制造和微电子工艺。它能够提供准确和可靠的过程控制，这要归功于一些可以调整的过程参数，以及一个集成的反应性气体输送装置。此外,PECVD加热器的设计考虑到安全性,采用集成式安全机器以确保符合安全法规。