二手 PLASMATHERM PK 24 #140728 待售
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24是为实验室和工业应用而设计的精密蚀刻/灰化设备。该系统具有富氧等离子体，能够在金属、陶瓷和玻璃材料等基板上产生凹槽、凹槽和表面结构。集成软件为蚀刻和灰化提供了易于使用的参数。提供的刀具（如铣削刀具、钻头和激光切削刀具）效率高,使用寿命长,精度更高。此外,PK 24还可以通过直接数据访问、参数控制、自动化过程和机器集成,轻松友好地运行。该单元包括双涡旋等离子体源，一个独特的，专利技术与一个转弯计时功能。先进的涡流反应堆技术允许对底物进行均匀蚀刻和灰化，保证了高质量、循环时间快的产品。内置鼓风机有助于减少蚀刻和灰化时间，提供恒定、稳定的等离子体，以实现卓越的产品一致性。PLASMATHERM PK 24还提供经济性气体管理和低成本耗材。其气体监测机可自动输送气体，确保安全可靠运行。供应容器是模块化和开放的，以便于改变消耗品和使用不同的气体。PK 24具有中等尺寸的腔室，工作面积为245 x 245毫米，为各种应用提供了极大的灵活性。与替代蚀刻和灰化系统相比，PLASMATHERM PK 24具有较大的工作区域和加工区域，使其适合更大的基板。PK 24设计安全可靠。腔室和其他组件设计用于清洁和无尘的工作环境，以及温度和气体稳定性，在工业作业中提供一致的性能。此外，刀具的顶盖和液体冷却资产解决了腔内冷凝问题。PLASMATHERM PK 24易于使用和维护，允许操作员访问所有必要的数据和控制参数。它易于阅读的控制和诊断面板设计为最大的效率和可靠性。此外，还整合了所有必要的安全设备和安全功能，如探头和传感器，以防止工区发生任何事故。因此,PK 24提供了出色的安全性和安全的工作环境。
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