二手 PLASMATHERM PK 2440 #293604307 待售

ID: 293604307
优质的: 1981
Dual plasma and Reactive Ion Etcher (PE / RIE) 1981 vintage.
PLASMATHERM PK 2440是由PLASMATHERM开发的先进蚀刻/灰化设备。它是薄膜和样品蚀刻和粉刷的高效、经济高效的解决方桉。该系统旨在为生产和研究应用提供精确和可重复性。PK 2440具有专有的3轴电动驱动单元,可控制舞台并提供精确的样品定位。其高速步进电机使机器能够在薄膜和样品上产生高精度的蚀刻和灰化。此外,该工具的自动化机制允许动态样品定位和腔室清洗。PLASMATHERM PK 2440提供了广泛的蚀刻和灰化功能。这些包括薄膜蚀刻、薄膜灰化和从基材中释放薄膜。它还具有一个腔室清洁选项,以减少腔室污染物。该资产使用基于等离子体的蚀刻剂和灰化化学,包括O2、Ar、Cl2和SF6。该模型的高速交钥匙操作提供了一致的、可重现的结果,自动化的样品室清洗过程减少了手动清洗的需要。它还具有一个大的20.2厘米x 30.5厘米的金属室和一个13厘米x 19厘米的装载区,以容纳广泛的样本量。此外,设备还拥有方便的用户友好界面,可以高效操作。该系统还提供先进的安全功能,包括自动气体关闭阀、超压限制器和E-stop,以保护操作员免受任何危害。PK 2440是研究实验室和生产场所的理想解决方桉,需要精确且可重复的蚀刻和灰化功能。凭借其先进的功能和用户友好的界面,该单元提供了一个高效和经济高效的解决方桉,蚀刻和灰化薄膜和样品。
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