二手 PLASMATHERM PLASMA901e-1 #9282868 待售

PLASMATHERM PLASMA901e-1是为各种材料开发的功能强大、可靠和高精度的蚀刻器/asher。它结合了精确控制、可靠性能、快速处理以及易于集成到自动化系统或手动使用中。PLASMA901e-1使用具有高级ePRControl线性步长参数化的射频（RF）等离子体源来提供一致和均匀的操作。该蚀刻器/灰化器配备了全自动真空室设备（FACS），以确保最佳的气体流动和对等离子室环境的控制。FACS包括对流程气流的智能管理，以及热交换器、泵和等离子光学元件。因此，PLASMATHERM PLASMA901e-1针对广泛的应用进行了优化，从介电层、掺杂膜和层，到金属薄膜蚀刻、金属和陶瓷合金蚀刻等等。PLASMA901e-1还包括串行总线接口（SBVI）,用于通过以太网或Modbus TCP/IP实现完全远程连接,从而实现与处理系统的直接通信。这允许用户实时监视蚀刻器/asher的操作,并在必要时远程调整参数或关闭设备。PLASMATHERM PLASMA901e-1的设计也考虑到了安全性,集成了真空安全机（VSS）,可确保安全的真空操作和遵守适用的安全法规。原料方面，PLASMA901e-1具有广泛的相容性，包括结晶硅、金属氧化物、氮化硅、碳化硅（SiC）、氮化铝、氮化铝、氧化铝（Al2O3）、硒化镍等材料。它还通过与标准Load-Lock系统的兼容性实现自动基板处理。PLASMATHERM PLASMA901e-1具有直观的用户界面,可轻松设置、配置和监视蚀刻器/asher。它还包括先进的各向异性蚀刻功能,这要归功于其可调节的蚀刻角度和EasyAxis TM对准工具,从而实现了卓越的精度。总体而言,PLASMA901e-1是一款功能强大、精密且可靠的蚀刻器/asher,专为各种材料的复杂操作而设计。其直观的设计、与不同基板的兼容性,以及强大的高级自适应蚀刻,使其非常适合自动化系统和手动使用。