二手 PLASMATHERM PLASMA903e #9282870 待售

PLASMATHERM PLASMA903e是为满足先进的等离子体蚀刻和灰化要求而设计的等离子体蚀刻器/灰化器。凭借其尖端的工程设计,PLASMA903e提供了精确、可靠的蚀刻和灰化效果,并保证了终身性能。PLASMATHERM PLASMA903e配备了真空室、射频功率和高流量输送设备，用于更精确的蚀刻和灰化。先进的功率、过程和真空控制系统允许进行总蚀刻和灰化过程,从而确保最大的生产效率。实现了流程自动化和ECN数据反馈单元,为用户提供了方便和流程可重复性.蚀刻机是一种非常精确可靠的机器。精密刻蚀精密度± 2%的深度刻蚀和灰泥，是理想之选。蚀刻器/灰化器被封闭在一个高度耐用的密封室中，该密封室用最先进的不锈钢和PEEK材料设计，可以承受极端的温度、化学腐蚀和物理冲击，在恶劣的条件下保存工件。该机配有计算机操作的多流程控制器，为用户提供方便和流程可重复性。采用自动工艺冷却机实现了工艺室和基板的快速均匀冷却，实现了一致的蚀刻和灰化质量。此工具还可实现快速冷却时间和提高生产效率。PLASMA903e还具有直径从1"到12"的晶片操作范围。它的最大真空速率为1000mTorr,均匀度在20% ±以内,可在高达450°C的温度下操作。该机器能够以高达0.15微米/秒的蚀刻速率向基板输送优质材料。这种高性能的蚀刻器/asher提供了一个非常精确的过程，而不必牺牲性能。所有这些功能结合在一起,使PLASMATHERM PLASMA903e满足高科技蚀刻和灰化需求的完美解决方桉。