二手 PLASMATHERM SL 730 #9132973 待售

PLASMATHERM SL 730是一种先进的蚀刻和灰化技术，旨在满足工业和科学半导体器件制造中多种应用的需要。它为金属、聚合物、SiC和其他半导体材料的蚀刻和灰化提供了高通量和精密处理。SL 730包括一项专利的嵌入式多级等离子体工艺技术，包括独特的多阳极电感耦合等离子体工艺。这与标准的单级平面晶片技术相结合。此高级配置确保了最高精度的蚀刻和灰化性能。该设备可用于批处理和连续批处理模式。6"晶片的批处理在标准反应堆配置中是可能的。反应堆的压板尺寸还可以容纳8"和12"晶圆。连续模式允许以高达24个ICPR/小时的速度生产大量优质产品。PLASMATHERM SL 730可以集成到多种半导体工艺系统中。采用低噪声屏蔽、旁路技术和先进的温度控制技术，具有坚固的工艺稳定柜设计。SL 730可实现金属、聚合物和半导体的高精度、高通量蚀刻和灰化。它利用先进的ICP来确保基材对材料的吸收最小，并实现资源的最佳利用。它提供了更大的工艺可扩展性与一个大腔室，可以容纳批量8"和12"晶片在批量和连续模式。此外，它的专利嵌入式技术和低噪声屏蔽确保了有效的除尘和可再生的过程控制，一致的结果。