二手 PLASMATHERM SL 730 #9196400 待售

ID: 9196400
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
PECVD System, 6" CVD Processor USG 1990 vintage.
PLASMATHERM SL 730是一种蚀刻器/灰化器设备,旨在帮助等离子体蚀刻和灰化过程,应用于研究、开发和生产的各个行业。它是高成品生产中各种材料的经济高效/高精度蚀刻和灰化的先进工具。SL 730的关键特点是其高性能微波发生器、高硬件兼容性、高吞吐率、高工艺稳定性、准确性。高性能微波发生器允许最大蚀刻和灰化速度为每分钟3.5厘米²,导致吞吐量速度比传统方法快20倍。这也可以实现高度的工艺稳定性和准确性,无论材料如何,都能生产可重复性高达5 µm的零件。该系统还与广泛的材料兼容,包括铝、硅、钛、钨、玻璃和塑料,使其在使用各种材料和产品设计时具有高度的通用性。它还具有长而低的维护寿命,最多10年,为低能耗而设计,允许高效运行。PLASMATHERM SL 730还配有一系列外围设备,以增强设备的能力。其中包括一个可调气箱、自动补源功能、方便处理的双晶片装载机以及多种蚀刻和灰化工具。这使得用户能够准确和一致地蚀刻和灰分材料,即使在高容量。SL 730非常适合任何需要高性能、精确的蚀刻机/asher机的人,具有适合大批量生产和研究的能力。它可靠,维护程度低,可用于高精度的广泛材料蚀刻和粉刷,是多样化应用的理想选择。
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