二手 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178 待售

PLASMATHERM SLR 720/720是一款高性能的蚀刻器/asher,专为需要高通量和高精度蚀刻和灰化的广泛应用而设计。该设备采用智能自学机器人控制设备，不断调整工艺参数，以优化各种基材、基材形状和蚀刻深度的效果。使用SLR 720/720使蚀刻和灰化解决方桉比以往任何时候都更容易、更快、更准确。PLASMATHERM SLR 720/720基于工业机器人系统，可以配置一系列专用的多功能工具，可以安装在机器人手臂上。此单元提供高度定制,以适应不同的应用程序和流程要求。它与用于不同蚀刻和灰化解决方桉的各种分辨率和特定于应用程序的软件包兼容。蚀刻和灰化过程,包括配方优化、过程控制以及底物的装卸,仅通过软件界面进行管理。SLR 720/720具有先进的零件处理机,可快速精确地装载、卸载和对齐基板。最常见的解决方桉包括负载锁定和蠕动处理系统。机器人工具进一步确保了对蚀刻和灰化工具的精确控制，并针对每种基材适当调整了工艺参数。PLASMATHERM SLR 720/720支持广泛的容量和工艺变体。这包括加热室技术、双气团、等离子体熄灭、PECVD，以及RIE/ICP、三频、ALD、CVD、Sub-Micron Etcher等蚀刻和灰化技术。此外，它还支持控制化学品的添加和去除，以及在线配方。SLR 720/720由三个基本部件组成。第一个是控制柜，它装有机器人控制和处理所需的所有组件。二是蚀刻和灰化室，由内置喷嘴、法兰和清洁资产组成。最后一部分是蚀刻和灰化模型，其中包括所有必需的工具，如激光划线、口罩和检测器，以及气体盒。PLASMATHERM SLR 720/720提供了蚀刻和灰化功能的独特组合,使用户能够以较高的材料利用率和工艺效率对薄和厚基板进行蚀刻和灰化。此设备非常适合实验室和其他需要高性能蚀刻和灰化解决方桉的应用。