二手 PLASMATHERM SLR 720 #9123968 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款等离子蚀刻器/asher，设计用于高级材料的精密蚀刻和灰化。SLR 720具有高速度、精确度和均匀性的蚀刻和灰化能力，是半导体行业内各种蚀刻和灰化应用的理想选择。PLASMATHERM SLR 720是一种高通量设备，标准蚀刻速率高达800 nm/min。它还具有利用双室发动机和四通道射频发生器的高效等离子体源。这使得高性能的蚀刻过程具有低离子能量和出色的均匀性横跨晶片。此外，SLR 720还有一个先进的控制系统，使用户能够输入和控制用户定义的参数。这些参数包括蚀刻和灰化参数、射频发生器设置和腔室压力。PLASMATHERM SLR 720包含易于使用、直观且用户友好的图形用户界面（GUI），允许对蚀刻和灰化过程进行完全控制。它还包括一个3D可视化工具，允许用户实时查看蚀刻和灰烬过程，提供跨晶片增加的稳定性和均匀性。SLR 720使用干燥、低压（DLPO）工艺进行蚀刻和灰烬处理。这一过程利用高气体流量来夹带离子和反应性气体，从而允许更高的蚀刻和冲刷吞吐量以及更快的处理时间。PLASMATHERM SLR 720还具有气体和压力安全监控、自动气体关闭、歧管控制单元等多种先进的安全功能。这使得它适合在各种安全关键应用中使用。总体而言,单反720是半导体行业各种蚀刻和灰化应用的理想选择。凭借其高性能、高速、准确的运行，对于寻求一致效果和可靠性能的行业来说，它是一个可靠的选择。