二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153526 待售
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ID: 9153526
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Aluminum chamber with load lock
Bottom electrode, 11"
MKS 286 Controller
(6) Zones heated chamber
MKS 290 Ion gauge controller
LEYBOLD 360 Turbo with 150/360 controller
ADVANCE ENERGY RFPP 5S RF Power supply
With AM5 matching network
Gas configuration:
(4) MKS 1159 MFCs (50,100,100,200 Sccm)
Operating system: Windows OS
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1996 vintage.
PLASMATHERM SLR 720是一款先进的蚀刻/asher设备,专为需要精确蚀刻和高产操作的应用而设计。单反720提供多种蚀刻工艺,包括反应性离子蚀刻(RIE)、离子镀层(IP)和硬蚀刻(HE)。PLASMATHERM SLR 720非常适合加工高价值基板,提供光学清洁表面。SLR 720以高等离子体功率为动力,提供卓越的蚀刻性能和广泛的蚀刻条件,使用户能够获得最佳的蚀刻深度、精度和图案定义。蚀刻和灰化工艺是独立控制的,为高产生产提供了理想的条件。机器的内部包括一个先进的运动控制系统,可以提高精确的位置精度和重复性。PLASMATHERM SLR 720设计方便用户,易于使用,确保任何学术和/或工业用户能够快速高效地适应机器。它具有直观的图形用户界面(GUI),使操作尽可能简单。SLR 720先进的电磁控溅射(EMS)特性使其能够产生具有卓越均匀性和厚度控制的光学清洁表面。这使得它成为导电膜沉积、钝化、图样底物蚀刻等广泛应用的绝佳选择。此外,PLASMATHERM SLR 720还具有多项安全功能,有助于防止事故发生。设置了极为严格的排气装置,以确保任何蚀刻工艺的副产品的释放受到管制,并保持在安全水平。在维护和维修方面,单反720是为易于跟进和快速维护程序而设计的。直观的预防性维护调度机在维护到期时提醒用户,确保始终实现最佳操作。总之,PLASMATHERM SLR 720是一种先进的蚀刻/粉碎器工具,在精度、性能和安全性之间提供了极大的平衡。它非常适合高价值基材加工,并提供多种蚀刻工艺。直观的GUI和预防性维护资产使任何用户都可以轻松地从其复杂的功能中受益。
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