二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153536 待售

PLASMATHERM SLR 720是一个蚀刻器和asher设计，以有效地执行高级蚀刻和ashing过程。它可以精确、快速地蚀刻平面和微网表面，从而在制造微机构件和装置方面有广泛的应用。设备包括一个超紧凑的RWE（快速晶片蚀刻）室，设计用于大规模，高效晶片处理。其专利、高压、大气压蚀刻器是精密蚀刻基材的有力解决方桉。SLR 720具有多个电极组件,可实现最佳蚀刻控制。它使用脉冲调制的射频（RF）激励和脉冲调制的电源来运作，以提供均匀和可变的功率水平。这与先进的静电控制系统相结合，确保了对基材蚀刻的精确控制，并实现了可重复的结果。其自动编程软件能够快速、方便地编程蚀刻和灰化工艺配方。PLASMATHERM SLR 720还附带了一个先进的流程监控单元，允许操作员实时监控结果。它的诊断传感器提供有关蚀刻和灰化过程的详细信息，从而能够主动控制和防止工艺变化。此外，它的自动排气机在蚀刻和灰化过程中提供了对气体和污染物的有效控制。SLR 720设计用于金属和硅片的高精度蚀刻。也可用于蚀刻碳纤维增强塑料、陶瓷基板等薄膜材料。该工具非常适合微加工工艺，设计可靠，易于使用，成本效益高。总之，PLASMATHERM SLR 720是一种可靠的蚀刻器和灰化器，旨在为先进的蚀刻和灰化工艺提供精确、可重复的结果。它的自动化系统、全面的诊断和高效的排气系统为操作员提供了一种简单、经济高效的方法来实现准确、可重复的结果。