二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153540 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款高级蚀刻器/asher，设计用于精密敏感微电子应用。该技术由PLASMATHERM开发,结合了物理、化学和机械处理,有助于确保表面质量、平面度和持久清洁。单反720是一种具有两个独立等离子体源的单室设备。第一个源利用柔性旋转磁控管进行适当的材料去除。第二个源使用变频发生器（VFG）进行低压多频运行。一个可精确调节的射频电源与VFG耦合，允许精确控制等离子体环境，允许用户定义蚀刻配方。蚀刻过程由直流电（DC）源启用，它与带有低频信号偏置的电源耦合，允许快速应用所需的表面处理。两个独立的等离子体源有助于在样品表面上保持均匀的离子轰击，并创建一个一致的过程窗口。PLASMATHERM SLR 720还包含一个全自动的原位清洗系统。此单元在每个蚀刻循环之前预处理腔室和工艺腔室以及所有可控组件。原位机不仅有助于保持腔室清洁，不受污染，而且确保等离子体源在最佳范围内运行。SLR 720可与自动化的锁载系统集成，并具有允许用户编程配方以满足其特定需求的软件包。此外，该工具还配备了触摸面板，便于监控和控制所有工艺参数。总体而言，PLASMATHERM SLR 720是一款先进的蚀刻器/asher，旨在满足精密微电子行业的需求。其原位清洗资产、双源技术以及可精确调谐的电源可确保高质量和可重复的蚀刻工艺,并具有卓越的表面光洁度。