二手 PLASMATHERM SLR 720 #9156982 待售

PLASMATHERM SLR 720
ID: 9156982
晶圆大小: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8" Manual load lock Advanced energy RFPP 5S RF Power supply Match work and tuner Leybold 361C turbo with NT20 controller 4 MFCs 11" Lower electrode 13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720是来自PLASMATHERM的一种精密蚀刻/粉刷技术。它提供了CD、IC、基板和许多其他材料的成功蚀刻和灰化所必需的一系列特性和功能。它是一个完全包含蚀刻和灰化设备,配有自己内置的PC Workstation,一个集成的16气体武库加上一个高精度的抽水系统,以及一个符合人体工程学的机械臂。集成的PC Workstation提供直观、用户友好的界面,支持设备的远程操作和在线监控。集成的16气体库包含7种不同的气体,从氧气到硅烷,以提供各种材料的最佳蚀刻和灰化。高精度抽油机精确控制气流,确保蚀刻和灰化过程的准确性和可重复性。机械臂进一步有助于在难以到达的区域对基板进行精确和高效的蚀刻。SLR 720增强的硬件软件配置支持多功能蚀刻功能。该工具可以编程为在单个和多个过程中蚀刻多个基板,如实时参数优化、实时扫描控制、深度控制和轮廓校正,或者这些过程的组合。另外,PLASMATHERM SLR 720允许二级金属化的集成蚀刻,从而有助于减少所需的加工时间。PLASMATHERM定价模式规模友好,非常适合小型和大型蚀刻行业。资产还提供增强的机械和安全功能。它内置的安全监控模型有助于保护设备和人员免受烧毁和溢出。此外,系统还具有紧急关闭按钮,允许立即关闭并防止潜在损坏。简而言之,SLR 720是一款坚固、用途广泛的蚀刻和灰化装置,具有人体工程学设计、高精度抽油机、直观的PC工作站、16气武库、扩展性蚀刻功能和集成式安全功能。它为CD、IC和其他基板应用提供了经济高效的蚀刻和灰化解决方桉。
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