二手 PLASMATHERM SLR 720 #9382253 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款高精度、多级的等离子体蚀刻器/asher，专为制造超薄过滤元件、纳米机器人、MEMS/NEMS器件和其他微电子元件而设计。该机设有四个相互连接的不同腔室（工艺、预清洁、锁载和蚀刻/灰分），以清洁液体、气体或氮气提供精确的等离子体蚀刻/灰分处理。工艺室是蚀刻器/灰化器内的主室，包含等离子体源、射频和直流电源以及晶圆安全传感器。它还具有先进的等离子体传感器和蚀刻速率测量系统，以实现卓越的控制。预清室是一种专用的腔室，带有高压、环境温度、低湿度的工艺气体，用于在蚀刻或灰化前清洗和脱气。它还允许晶片的精确定向。锁载室进一步提高了工艺室的清洁度，通过为工艺室提供超高真空环境，提供了更高质量的蚀刻/灰化工艺。蚀刻/灰室是整台机器的最后阶段，包含多种不同的工艺气体，根据特定的蚀刻/灰化工艺量身定制。气源通常包括氟基等离子体气体，如CF4、CHF3和CF3Br，以及氧气和其他惰性气体。通过对压力、流量、温度、气型、基板温度等所有工艺参数的精确控制，优化生产产量和最终质量。SLR 720的其他功能和工艺选项包括：自动厚度测量、车载计算机控制、手动工艺控制、可调检测和介电蚀刻窗口、液晶触摸屏界面、中央数据采集/存档控制台、主动晶片监控、蚀刻速率实时显示、晶片处理无缺陷、过程自动可重复性和完全集成到生产系统中。所有这些特性结合其先进的等离子体蚀刻/灰分工艺，使PLASMATHERM SLR 720成为生产具有最高质量的超薄过滤元件、纳米机器人、MEMS/NEMS器件和其他先进微电子元件的理想工具。