二手 PLASMATHERM SLR 730 #9123961 待售

ID: 9123961
优质的: 1997
PECVD System, 2"- 8" Shuttle lock load lock loading system Platen transfer Model 700 Al chamber Top electrode: 13" Heater: Watlow 250ºC RF Power supply: RFSS with AM5 matching network (8) MFC's: MKS 1179: N20, N2, NH3, N2, SF6, Silane 2% in He, Silane 1.9% in He Chiller: Neslab HX 75 OS: Plasmatherm windows 208V, 3 phase, 60A 1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 730是一款用于精密表面微加工的最先进的蚀刻器和asher。由于采用高速多束准分子激光技术,结果具有极好的均匀性和重复性。它具有灵活、紧凑和模块化的设计,非常方便各种生产过程。PLASMATHERM SLR-730的工作温度范围为-20°C至+55°C,频率范围为0至20 MHz,功率范围为0至1.5kW。其单杆扫描仪设备确保工件涂覆均匀、准确、精确的结果。此外,它还具有内置的自我保护功能,可在发生故障时禁用系统。SLR 730有几个独特的特点和优点,使其与其他蚀刻器和ashers相比产生优越的效果。它有一个直接注入的激光室,这使得它更容易蚀刻,切割和烧蚀材料,以及一个旋转的工作空间,在处理各种材料时提供更高的精度。此外,它的负载锁定装置在操作过程中提供了更高的安全性和便利,因为它保持了腔室的清洁,并允许在芯片生产过程中不间断地连续运行。SLR-730的残余损耗极低,为0.3%,支持非常低温的加工,为用户提供高产率和性能,在数量和结果质量方面都是如此。此外,它的大容量使得传统的批量加工已经过时,因为多达500个单独的基板可以同时在一个统一的运行过程中进行加工。为了最大限度地方便用户,PLASMATHERM SLR 730有一个人性化的HMI(人机界面),可以方便操作。它有一个直观的用户指导机器,可以被没有事先经验的操作员使用。此外,其易于维护的周期允许长期持久的业绩,而其较低的业务成本提高了其价值。PLASMATHERM SLR-730真正是一个最先进的蚀刻器和asher,它具有广泛的特点、优点和优势,在各种过程中提供卓越的性能和精确度。其一致的结果和用户友好的结构使其成为寻求可靠的尖端微加工解决方桉的老牌企业和新企业的理想选择。
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