二手 PLASMATHERM SLR 740 / 720 #293605243 待售

ID: 293605243
优质的: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE) 1999 vintage.
PLASMATHERM SLR 740/720是一款为纳米级材料的高精度电蚀刻和灰化而设计的蚀刻器/灰光器。这种先进的工艺技术能够对选择性去除材料的蚀刻和灰化参数进行优化控制。该机器的集成传感设备确保了精确和可重复的操作,为各种制造和研究需求提供了理想的解决方桉。SLR 740/720通过简单的图形用户界面提供了对蚀刻和灰化参数的用户友好控制。用户可以轻松地调整蚀刻和灰化工艺参数,以满足样品轮廓、均匀性、横向蚀刻和各向异性方面所需的结果。该系统还能够在一次运行中执行多个蚀刻和灰化过程,使其成为用于研究目的的理想选择。集成传感装置可以精确控制蚀刻和灰化过程,以及准确监测蚀刻速率。蚀刻速率在蚀刻过程中实时确定和测量,用户可以实时调整蚀刻过程。通过防止堵塞物、灰尘和其他污染物进入工艺室的气流保护装置,蚀刻工艺也能防止环境发生微小变化。PLASMATHERM SLR 740/720具有高功率、中频电容耦合源,能够实现纳米材料蚀刻和灰化方面的卓越选择性。这样可以确保在样品中获得所需的轮廓、均匀性和各向异性。该机是自成一体的,包括内置真空室、内置电动晶圆旋转和专用支撑机等特点。该机还包括先进的安全功能,如联锁工具、气体安全关闭、紧急断电和钥匙锁,以防止未经授权进入。机器的所有主要部件均采用最高的质量和可靠性标准进行设计,确保了耐用性和卓越的性能。该机器有全面的客户服务和支持网络作为后盾,使其成为实验室和研究设施的理想选择。
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