二手 PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777 待售

PLASMATHERM SLR 770 ECR是由工艺工具和系统解决方桉的领先行业提供商PLASMATECH制造的最先进的蚀刻器/aser。这种先进的设备使用电离气体（等离子体）来蚀刻、清洁和保养各种材料。这包括玻璃、陶瓷、塑料、金属和半导体材料。PLASMAHERM SLR 770 ECR的特点是充满了许多技术进步。蚀刻/灰化工艺组合在一个紧凑的单元中,从而实现快速高效的晶圆加工。它还具有快速进入蚀刻室的负载锁和内置真空系统，以提高吞吐量。此外,SLR 770还设计用于远程控制操作,方便操作员访问。蚀刻器/aser具有集成的使用RF和温度分析的诊断功能，以及先进的温度映射来优化过程。此外，该设备拥有先进的配方系统，以最大限度地提高蚀刻质量和统一性，还拥有人性化的控制和易于导航。PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECR的灵活性也允许根据材料而有一系列特定的蚀刻配方。使用手动气体输送及其可调工艺参数，如电流和电压、电压溷合、预调谐循环和等离子体源，可以方便地实现这一点。蚀刻器/aser还具有非常高分辨率的液晶显示器和直观的图形用户界面,可提供可视反馈,从而简化操作。该设备还具有集成的加热器、气流控制和自动校准功能,以及远程诊断和控制功能,以提高可靠性和过程安全性。该设备还具有集成的安全功能,如ESD保护和真空超压限制。PLASMAHERM SLR 770 ECR也有模块化的设计，使得它容易与现有的蚀刻系统整合使用。它还具有极具竞争力的成本,对于希望提升蚀刻过程的组织来说,这是一个绝佳的选择。