二手 PLASMATHERM SLR 770 ICP #293763388 待售

PLASMATHERM SLR 770是一款高度先进的蚀刻器/asher,专为当今先进的生产工具以最高效率进行精密蚀刻和灰化而设计。它提供了无与伦比的性能与顶级的精度和过程控制，可以使困难的微细工艺更容易完成。该设备的设计可满足极其复杂的细节要求,并且可以产生极其精细的线条尺寸,只有使用最先进的蚀刻器/asher技术才能实现这些尺寸。770具有一个"能干"的射频发电机，可提供高达20千瓦的最大功率。这台发电机配备了先进的相位控制技术，使射频发电机能够提供精确的功率控制，用于零件或材料的精确蚀刻或灰化。有了先进的发电机，单反770就能达到微米级的精度，否则更传统的蚀刻机是不可能做到的。PLASMATHERM SLR 770还具有高效的多气体输送系统,可直接控制特定的气体溷合物以获得最佳性能。根据应用，用户可以轻松溷合气体架构中的各种气体，达到所需的蚀刻或灰化效果。单个气体的有效释放速率可通过温度、压力和气体类型等多种参数额外调节。SLR 770还拥有一个高分辨率成像单元，能够在不影响准确性或质量的情况下实现精确蚀刻/冲洗。该机采用具有高达2560 x 2560分辨率图像的CMOS摄像头,以极高的精度检测所有微观特征。这为仅限于更紧密的几何形状或复合体特征的蚀刻或灰度提供了高精度。PLASMATHERM SLR 770还设计了一个强大的控制面板,允许快速访问和修改工具的工艺参数。控制面板还允许用户随时监视和调整资产性能,从而降低蚀刻或灰化故障的风险。总体而言,SLR 770是一款高性能、多用途的蚀刻asher,旨在产生无与伦比的精确度的复杂特性。其多气体输送模式、功能强大的射频发生器和先进的成像设备为用户提供了以惊人的速度、严格的标准生产微型特性的能力。