二手 PLASMATHERM SLR 770 RIE #293753769 待售
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ID: 293753769
优质的: 1994
Etcher
Chamber 1: CF4, CHF3, O2, H2
Chamber 2: O2, Cl2, Bcl3, HBr
(2) Turbo pumps
Vacuum pump
1994 vintage.
PLASMATHERM SLR系列是一款干蚀刻和灰化设备，设计用于对多种半导体材料进行精确蚀刻和蚀刻速率控制。该系统具有强大的侧壁和各向异性蚀刻能力,非常适合晶圆蚀刻、薄膜图样制作和半导体器件上的小特征制作。该装置还具有广泛的来源技术选择，以加强蚀刻工艺，包括等离子体和反应性离子蚀刻，以及低压化学气相沉积。SLR系列提供易于使用的全自动机器,具有用户友好的图形菜单和触摸屏界面。该工具包括集成真空资产、用于基材和晶圆处理的工艺机器人，并为蚀刻选择性和蚀刻速率控制提供多种蚀刻工艺。它提供高精度的基板对准，快速的抗蚀蚀，图案转移具有优异的均匀性和可重复性。PLASMATHERM SLR系列还包括先进的过程控制功能，包括同时多参数控制、过程可追踪性以及具有过程建模和模拟能力的高端软件。该模型还集成了先进的计量能力，用于监测和优化工艺的可重复性和工艺控制，并提供一系列专门的涂层和硬化处理，以改善基材性能，增强对蚀刻和沉积工艺的保护。该设备还包括保护用户和基板的各种安全功能。其中包括多种冷却剂系统、臭氧管理、自动化过程监测和超压保护。该系统还提供各种废气管理和过滤技术，包括过滤器寿命监测、车载清洁和维护程序以及智能报告功能，以存储过程信息供今后参考。单反系列是一款功能强大、可靠、创新的蚀刻和ashing单元。它通过改进蚀刻选择性、工艺重复性和工艺控制提供了出色的蚀刻效果,并提供了增强的安全功能和额外的计量功能。这台机器是一个理想的选择，为广泛的蚀刻和灰化需求，从精密图案设计到近原子尺度的设备。
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