二手 PLASMATHERM SLR 770 #293663077 待售

PLASMATHERM SLR 770是一款高性能干式蚀刻器和asher,提供卓越的控制、精度和可靠性。这种最先进的设备具有众多专有功能,旨在实现业界最高的蚀刻速率。它非常适合用于生产半导体、MEMS元件、薄膜层和许多其他微加工工艺。该机由一个封闭的加工室、真空泵、控制系统和一个负载锁定系统组成。它使用等离子体操作气体和反应性气体进行蚀刻和灰化过程，并且高度可调，能够循环最多三种不同的气体溷合物。板载软件提供了精确蚀刻所需的精度水平，并提供了一个优越的操作员界面。SLR 770配备了多种功能,使其成为生产的理想蚀刻器和asher。它是用双头眼睛构造的，它允许多个视图角度，以便监控过程。此外,该设备是完全自动化的,以确保一致的操作和最高的效率.此外，还有一个光学窗口，操作员可以在不打开腔室的情况下查看该过程。该机器还具有先进的光学机器，利用它可以保持蚀刻过程的均匀性和控制性。这包括一组可以用来精确聚焦蚀刻等离子体和监控过程的激光器。它还提供精确的压力调节以进一步优化蚀刻结果。PLASMATHERM SLR 770还带有多种安全功能，如防止打开腔室的自动互锁。此工具已通过CE认证,符合RoHS和WEEE标准。在发生意外火灾或爆炸时，PLASMATHERM对安全的承诺进一步扩展到二氧化碳灭火资产。为确保达到最高性能和质量水平,SLR 770由独立实验室定期进行测试,以确保其运行符合法规要求。PLASMATHERM SLR 770干蚀刻机和Asher具有先进的工业级设计,是确保生产过程中最佳零件蚀刻和灰化的完美工具。