二手 PLASMATHERM SLR 770 #9271304 待售

PLASMATHERM SLR 770是专门为半导体制造应用而设计的蚀刻设备。其目的是从硅片等基板表面蚀刻掉多余的材料层。SLR 770利用基于等离子体的技术进行高效、高精度和可重复的蚀刻。系统由三个主要部件组成，一个电极（即位于单元底部附近的大电极）、一个离子源和一个蚀刻室。蚀刻室本身由不锈钢製成，密封。在腔室内部，通过一系列气体通道引入蚀刻气体，并从边缘周围的喷嘴发出。然后使用射频发生器创建等离子体场，使蚀刻气体被激活和电离。由于工艺效率高，可以更精确地控制蚀刻，实现可重复的蚀刻轮廓。PLASMATHERM SLR 770可以蚀刻出多种材料，包括硅、多晶硅、金属、玻璃、氧化物和氮化物。板载真空泵在蚀刻时确保腔室在低压环境下运行，从而实现更好的蚀刻性能、重复性和精度。此外，该装置还有一台自动晶片处理机，使基材能够快速轻松地放置在蚀刻室中，然后再取出。SLR 770还包括高级控制功能,允许用户编写适合不同作业和任务的蚀刻协议。例如，用户可以设置一个程序，在一定深度进行蚀刻，使用特定的气体成分，或者使用特定的蚀刻速率。这样就可以根据任何工作的需要量身定制工具。总体而言,PLASMATHERM SLR 770是一种功能强大的蚀刻资产,专为最严格的半导体制造应用而设计。它具有精确的控制、可重复的蚀刻配置文件和高级编程功能,可提供高效的各种材料蚀刻,并具有极好的重复性。