二手 PLASMATHERM / UNAXIS 700 Series #9201877 待售

ID: 9201877
Wafer batch plasma etcher deposition.
PLASMATHERM/UNAXIS 700系列是一种蚀刻器和asher设备,旨在制造各种具有精确控制的电气、机械和电子元件。针对包括铜、钨和钛在内的先进材料的蚀刻进行了优化。该系统采用真空压力脉冲(VPP)蚀刻技术,具有较高的蚀刻效率水平,提供高质量的效果。UNAXIS 700系列旨在成为生产或研发电子元件的高效解决方桉。该单元提供基于预定运行时间、温度、压力和气体类型的标准过程控制功能。它具有易于使用的用户界面,有助于流程设置和监控。机器还设有多功能进程监视器,实时显示所有相关数据,并允许在运行过程中调整参数。它还包括工艺配方,允许同时调整所有参数以实现精确控制。该工具具有手动控制功能,可用于选择各个配方,以及几种不同的预设程序,这些程序允许蚀刻具有不同结果的多个组件。自动配方优化(ARO)功能有助于缩短蚀刻时间,以最大限度地提高效率。它还有助于为每个配方选择最佳参数,以提高产品质量。气体溷合管理(GBM)功能可确保向蚀刻室准确输送气体,提供一致、高质量的结果。PLASMATHERM 700系列设计用于可靠、可靠的操作。该资产已按照ISO 9001:2015标准设计,并符合各种安全准则和批准标准,包括CE、UL和CSA。该模型采用强大的真空泵来保证洁净室的运行,并采用先进的热管理技术来保护敏感部件。该设备还设计为提供较低的总拥有成本,具有简单的维护协议和较小的足迹,便于放置在实验室或生产环境中。700系列为用户提供了一个高效、通用的蚀刻和灰化系统,用于生产和研究先进的电子元件。它具有强大的控制功能、易于使用的用户界面以及用于精确操作的高级流程配方。它的设计目的是以成本效益高的方式提供可靠的结果,而且维护最少,占地面积很小。
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