二手 PLASMATHERM / UNAXIS 700 #9096334 待售
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ID: 9096334
Reactive Ion Etcher (RIE)
Pressure controller: PRM-1
RF generator supply: HFS 500
Mass flow control: MFC-5
Available options:
LH D60 WS/WA 251
Blower 179 CFM blower package
Vacuum hose and fittings.
PLASMATHERM/UNAXIS 700是一种先进的蚀刻器/asher设备,能够非常精确和先进的蚀刻和灰化操作。它的工作原理是使金属、聚合物和有机材料暴露于等离子体中的氧气、氙气、氮气和氯化碳氢化合物,从而在表面产生反应性物质,从而迅速蚀刻和清除材料。该系统采用高精度多轴控制,使用多种工艺工具(包括单轴、交互式和多轴运动系统)进行精确蚀刻和灰化。该设备配备了可编程逻辑控制器(PLC)和用户界面控制面板,允许对蚀刻和灰化参数进行编程和定制,并在复杂的工业生产过程中使用该设备。PLC易于用户访问,允许自定义编程、诊断和查看流程数据。用户界面预装了手动和半自动设置,还包括一个自动序列功能,可轻松设置多个参数。该单元构建在开放式体系结构硬件和软件平台上,提供了满足任何客户需求的过程灵活性和功能。开放式体系结构允许集成最新技术,包括高速过程控制、自动诊断和制造智能功能。该体系结构还包括一个功能强大且可扩展的基于组件的软件套件,用于支持蚀刻器/asher操作。UNAXIS 700附有一台先进的两阶段蚀刻/灰烬机,使用摩擦电面罩引导等离子体流动,允许在微小尺度上进行精确蚀刻和灰化。两阶段工具允许每个工艺步骤,包括在个性化设置中进行预刻、蚀刻和灰化,确保精确和准确的结果。此外,PLASMATHERM 700还提供先进的保护系统,以确保安全可靠的运行以及卓越的质量控制。这包括一种创新的自清洁机制,它可以消除室内的微粒积聚,防止污染。为了获得更高的质量,该设备具有进气功能,允许将空气排除在蚀刻/灰室之外,以获得更纯净的结果。总体而言,700是一种功能强大且先进的蚀刻器/asher资产,可提供灵活性和精确度,以满足任何工业蚀刻或灰化需求。结合其开放式体系结构、可编程逻辑控制器、两级蚀刻/灰模型和先进的保护系统,是一种可靠高效的工作工具。
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