二手 PLASMATHERM / UNAXIS 7000 (EMS) #9258753 待售

UNAXIS 7000（EMS）是半导体工业中用于薄膜制造的先进蚀刻器和asher。它提供业界领先的最大吞吐量性能,以实现最高的效率。PLASMATHERM 7000的蚀刻和灰化工艺非常精确和一致,非常适合电子元件的生产。它具有很高的性能，这要归功于其强大的真空蚀刻室和加热线圈的组合，以快速和干净的灰化材料。双工艺ETCH-ASH设备具有先进的工艺控制能力,并具有各种先进的技术测量精度和准确性。压力控制精确，使系统产生均匀的结果。该过程可根据目标产品的要求针对各种配方进行编程。单位的高性能、耐用的冶金、高效的热管理机，也使其长期使用可靠。PLASMATHERM/UNAXIS 7000 （EMS）还具有高级机器人,可精确精确控制运动。该工具有多个机器人插槽可用于定制配方,以产生最高质量、吞吐量最高的结果。资产还有一个集成的视觉模型，可以自动检测部件，从而更好地控制过程。采用先进的气体输送系统，便于控制蚀刻性能。这种设备旨在为特定过程输送不同的气体流量。它还有一个用于控制等离子体过程的三面射频发生器，以及一个远程诊断面板以方便操作员。系统配有通知单元，在需要维护或维修时提醒操作员。安全也内置在这台机器的设计中。该工具具有安全联锁,以防止未经授权的访问。它还具有射频导线，以确保操作员的辐射安全和保护。该资产设计为紧凑、清洁,移动部件最少,功耗低。总体而言,UNAXIS 7000 （EMS）是一款功能强大的蚀刻器和Asher,可提供高级性能、精确度和控制功能。它的高级功能和自动化流程使其高效可靠,同时其安全功能确保操作员得到适当的保护。它非常适合用于生产需要精确蚀刻和灰化的电子元件。