二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #293695530 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790系列是一款最先进的、基于等离子体的蚀刻器/asher，设计用于集成电路的批量处理。UNAXIS 790系列的设计旨在为具有汽车、显示器、工业控制、医疗、3D打印和消费电子等广泛行业的微观结构和薄膜材料的蚀刻提供优越的周期优化生产能力。PLASMATHERM 790系列拥有93 cm x 61 cm的大腔室尺寸，最多可容纳4个尺寸达8英寸的基板。790 Series的灵活性允许蚀刻器用于处理多种金属、半导体和聚合物的多种材料，如铝、铜、砷化​​、聚酰亚胺、多晶硅和硅。790能够处理厚度在1mm至50微米之间的基板。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列配备了用于快速交换基板的负载锁定设备和用于确保多种基板均匀蚀刻工艺的基板表,提供了扩展的功能和快速蚀刻速率。UNAXIS 790系列能够处理多达150种蚀刻配方，为用户提供广泛的蚀刻、灰化和剥离功能，并提供自动内壁清洁系统，减少蚀刻配方之间的污染程度。PLASMATHERM 790系列提供了卓越的控制和精度,这是由一个用户友好的界面实现的,该界面允许操作员使用高精度的仪表实时监控蚀刻过程,以测量压力、腔室温度和射频功率,以及实时的工艺配方控制。790系列还有一个先进的绝缘控制单元，以减少颗粒污染并确保一致、可靠的结果。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列的维护要求极低,因为该机采用高性能过滤工具和补充疏散泵来设计,以确保最大的过滤效率。UNAXIS 790系列具有精确的安全资产,能够检测到任何故障,从而确保蚀刻过程的安全可靠。PLASMATHERM 790系列是一款下一代蚀刻机型,它提供了一套广泛的功能、卓越的质量结果以及快速的生产周期。通过使用最新的等离子体技术,790提供了改进的过程控制和灵活性,同时保持了较低的维护要求,使其成为广泛行业的无与伦比的蚀刻解决方桉。