二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9225839 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790系列等离子体蚀刻器/分离器的设计满足了半导体制造的需求。它在应用特定集成电路（ASIC）集成电路（IC）应用实现高精度等离子体蚀刻和灰化方面有着良好的记录。UNAXIS 790系列采用低失真设计，采用了独特的均匀等离子体分配技术。即使对于最具挑战性的外形规格和应用程序,这也能确保较高的蚀刻和灰度精度。PLASMATHERM 790系列采用不锈钢制造，具有行业领先的清洁操作和高精度蚀刻技术。高效的ICP电源、先进的冷却设备和独立的气体输送系统,为您的蚀刻需求提供了可靠可靠的平台。790系列配备了用于精确晶圆检测的高端摄像头和触控面板界面，便于使用，并进一步增强蚀刻工艺。可调光学系统加上高分辨率成像,可实现任何外形尺寸和应用的高精度蚀刻工具。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列附有多种应用和蚀刻选项，包括反应性离子蚀刻、氧化物蚀刻和化学，反应性离子蚀刻工艺采用化学物质和离子的组合，达到表面损伤低的精确蚀刻效果。氧化物蚀刻使用氧化物层进行特定层蚀刻，从而可以精确控制蚀刻图样。UNAXIS 790系列的化学蚀刻特性被用于高通量蚀刻，并快速工作以达到准确的效果。PLASMATHERM 790系列还支持流程和工具监控功能,允许进行故障排除和性能评估。这为过程中监控和最终过程评估提供了一个易于使用和可靠的平台。凭借对腔室压力、气流、射频功率、蚀刻/灰分速率等方面的监控能力，用户可以保证一致、优质的蚀刻效果。790系列提供了许多附加功能,以保持精确的蚀刻过程,例如压力控制、温度调节和腔室清洗。压力控制可确保室内气氛一致,而温度调节则可确保最佳蚀刻和灰化性能。腔室清除功能有助于清除有害的颗粒和材料,从而保持腔室清洁。最后，PLASMATHERM/UNAXIS 790系列还包括一个先进的安全单元，它监测潜在的危险，并有助于减少发生事故和损坏的风险。UNAXIS 790系列为各种半导体应用中的蚀刻和灰化提供了可靠的平台。它的低失真设计、ICP电源、先进的冷却和气体输送系统，加上一系列蚀刻和监控功能协同工作，达到精确效果和一致的效果。考虑到质量保证和安全，以便为您的蚀刻需求提供可靠的机器。