二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9359353 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790系列蚀刻器/asher是一种先进的用于蚀刻和灰化应用的半导体加工设备。该蚀刻器/asher系统采用双频微波等离子体技术和高分辨率温度控制相结合，实现了最佳蚀刻和灰化性能。UNAXIS 蚀刻器/asher支持批处理和单个晶片工艺进行蚀刻和灰化，使用户能够在蚀刻和灰化工艺之间快速切换。该装置采用先进的压力控制机进行设计，以确保最佳的蚀刻和灰化性能。该工具不仅有助于保持高度的准确性，还提供过程控制和可重复性。PLASMATHERM 蚀刻器/asher配备了强大的惰性气体泵送资产，使用户能够有效控制腔室压力和温度，以优化蚀刻/灰化过程。该模型还通过帮助最大限度地减少背景气体的积聚来帮助提高过程的性能。设备还配备了温度控制器，以保持蚀刻器/asher内的精确控制环境，增强蚀刻和ashing性能。PLASMATHERM/UNAXIS 蚀刻器/asher专为可定制端点控制（EPC）而设计,以确保每个蚀刻和灰化过程的精确结果。EPC允许用户设置诸如蚀刻时间和温度以及每个进程的功率级别等参数。这样可以更好地控制蚀刻和灰化性能,并提高过程的可重复性。UNAXIS 蚀刻器/asher还带有先进的安全功能，如确保人员安全的联锁系统，以及防止该单位未经授权操作的门锁定。该机器的设计符合半导体行业的最高安全标准，以防止事故和工艺性能下降。总体而言,UNAXIS 790系列是一个高级蚀刻器/asher工具,旨在提供高性能蚀刻和灰化结果。该资产旨在提供精确、可重现的结果、广泛的端点控制功能和先进的安全功能,使其成为生产和研究处理的理想选择。